溅射薄膜式压力传感器

压力传感器主要通过压力敏感芯片将感受到的压力转化为微弱的电压信号输出，再通过电路将此微弱的电压信号进行放大、滤波等输出电压信号。若要输出电流信号，则需将电压信号通过电压电流转换电路转化为电流信号输出。

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溅射薄膜压力传感器的压力芯体，在高真空度中，利用磁控技术，将绝缘材料、电阻材料以分子形式淀积在弹性不锈钢膜片上，形成分子键合的绝缘薄膜和电阻材料薄膜，并与弹性不锈钢膜片融合为一体。再经过光刻、调阻，温度补偿等工序，在弹性不锈钢膜片表面上形成牢固而稳定的惠斯顿电桥。当被测介质压力作用于弹性不锈钢膜片时，位于另一面的惠斯顿电桥则产生正比于压力的电输出信号。将此信号经放大调节等处理，再配以适当的结构，就成为应用于各个领域中的压力传感器和压力变送器。
我们自研的溅射薄膜压力传感器，满足长期稳定性，抗振性，电磁兼容性，耐冲击性和对温度适应性(温漂小，范围宽)，适应各种恶劣的环境条件。产品种类齐全，提供适用于铁路、船舶和工程机械等行业全方位的解决方案。
产品特点:
(1)溅射薄膜压力传感器的突出特点是受温度影响小，优于扩散硅式压力传感器，在温度变化100时，零点漂移仅为0.5%。
(2)高灵敏的压力芯体全焊接封装在不锈钢壳体内，具有准确度高、输出信号大、工作寿命长、适用温度范围宽、长期稳定性好，功耗低、无迟滞、重复性好等特点。
(3)溅射薄膜式压力传感器以惠斯顿电桥与弹性不锈钢膜片间有很好的匹配并成为一体，而不存在仟何胶粘剂。相较粘贴式应变片传感器显示出高的长期稳定性与可靠性。
(4)具有优异的耐压力冲击、振动，且过载能力强，常被应用干环境恶劣的工业现场和军事行业，如工程机械液压传感器、油井用油压传感器等。
(5)成本相对较高，不适用干小量程和差压的应用场景。

性能参数